㈜모두테크놀로지는 일본 Hamamatsu Photonics사의 Photo Emission Microscope “PHEMOS Series”는 반도체 디바이스 내부에서 일어나는 여러 가지 이상 현상에 기인하여 발생되는 지극히 미약한 발광을 검출하여 위치를 특정해 주는 장비로써, Memory device, Logic device를 포함해 Power device나 FPD 외에 다양한 제품의 불량분석에 적용이 가능합니다.

또한, Thermal Emission Microscope “THEMOS Series” 는 반도체 디바이스 내부에서 일어나는 Metal 배선 관련 Short, Bridge 등의 불량을 분석하는데 적합한 불량 분석 장비 입니다. 아울러, OBIRCH Function 및 Thermal Lock-In Function 등 다양한 불량분석 Tool 을 활용하여 Total FA Solution을 제공합니다. 그리고, iPHEMOS Series는 계속적으로 미세와 다층화 되고 있는 반도체 Device들의 불량 분석 요구에 맞추어 Device의 Top면이 아닌 Backside를 통한 불량 분석이 용의하게 개발된 장비로 3개 이상의 Multi Detector를 동시 장착하여 분석 시간을 크게 줄이고 보다 정밀한 분석을 수행할 수 있는 장비입니다.

더불어, FPD용 System인 “MPEM-100F” 및 “MTEM-100F” system은 Hamamatsu사의 고성능 카메라, 특수 렌즈 및 FA Tool을 적용하여, FPD (LCD, OLED) 내부에서 발생된 불량 위치에 대한 정확한 정보를 최적화된 Image process로 통해 제공합니다. Main Body는 Linear Gantry Structure로 원하는 위치로의 신속 정확한 이동이 가능하며, Line defect 분석 시 Auto Stitching function을 활용하여 보다 쉽고 정확한 불량 위치 정보를 획득할 수 있습니다. 본 장비는 소형 Mobile Panel부터 대형 TV Panel에 이르는 다양한 Device의 적용이 가능하며, 고객 요청 사양에 대한 Dark box, Low noise, Tester interface, Laser marker 등 다양한 업그레이드 지원이 가능합니다.