반도체/디스플레이

Probestation

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MDP-100 Series

MDP Series 는 Top side와 더불어 Back side measurement, observation 이 요구되는 Device에 적합한 Probing system 으로서, 8 inch wafer 및 partial wafer, Package Chip 등 다양한 Device를 Test 할 수 있으며, 일본 HAMAMATSU사의 Photon emission microscopy 및 Thermal emission microscopy와 사용시 강력한 Performance 낼 수 있는 Double side Probing system 입니다.

Back side Probing 시 야기 되었던 불안정성과 불편함은 전용 Probe card Holder 와 전용 platen을 활용하여 보다 신속하고 안정적인 Back side Pin contact 을 제공합니다.

또한 특수 코팅된 Glass chuck 과 Silicon chuck 은 Emission 투과율을 향상시켜 줍니다.

Specifications

Chuck Nickel plated
X/Y travel 310mm
Z Plate travel 20mm
Z Chuck travel 20mm
Probing Camera Size ½” Resolution 1388*1040 GigE Color

Dimensions

MDP-100-series-01.png