MPi12-1000은 Backside Emission 검출 장비의 고성능, 고정밀의 Motorized Probing System으로 손쉬운 Wafer 운영, Universal Probing 기능, Vision Function으로 고객의 요구에 적합하도록 제작되어 있습니다. 그리고 MPi12-1000은 Photon Emission 및 Thermal Emission의 용도변경에도 쉽게 대응할 수 있도록 Wafer Chuck의 탈부착이 용이하도록 설계되었으며, Universal Probe Card Holder를 활용한 원형 및 사각형 Probe Card를 사용하여 200mm, 300mm Wafer의 안정적인 Probing이 가능하며, Positioner를 이용한 Partial Wafer 및 Chip 샘플에 대한 Probing도 가능합니다.

또한, MPi12-1000에서 제공하는 Wafer Align Function은 누구나 1분 이내에 Wafer 정렬이 가능하도록 쉽고 직관적으로 디자인되어 있으며, Wafer Mapping Function은 원하는 측정 위치로의 정확한 이동이 가능하도록 합니다. 아울러 Vision Searching Function은 보다 향상된 고정밀의 Probing을 제공합니다. 이 모든 기능은 쉽고 빠른 사용자 친화적인 GUI를 통해 완벽히 구현됩니다. MPi12-1000은 전기적인 노이즈로 인한 측정 데이터의 오류를 최소화하기 위하여 최적의 시스템 설계 및 Low Noise Module로 제작이 되었으며, 이러한 기술을 바탕으로 일본 HAMAMATSU사의 엄격한 시스템 성능 검증을 통과하였습니다.

Specifications

Dimensions