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MP-1000 Series
MP-1000 series는 Top side Motorized prober로 최상의 Joystick controller의 간단한 조작을 통해 원하는 측정 위치로의 이동 및 정확한 Probing 기능을 제공하는 매우 안정적인 system 입니다. DC 측정 (I-V, C-V) 및 RF 측정은 물론 불량분석 장비인 Emission microscope system의 Integration이 가능하며 다양한 Application으로의 활용이 용이합니다.
MP-1000 series는 200mm와 300mm wafer의 loading 및 Partial wafer, Chip 단위의 샘플에 대한 측정도 가능하며, Probe card 및 positioner를 활용한 Probing 기능을 제공합니다. 아울러, 측정 Tester와의 Interface 지원 및 측정 액세서리를 제공 합니다.
MP-1000 series는 고객사의 요청 Application에 대한 다양한 업그레이드가 가능한 최적의 Probing system 입니다.
Specifications
| X/Y Stage | |
|---|---|
| Movement Stroke | 200mm or 300mm |
| Resolution | ±0.1um |
| Repeatability | ±1um |
| Accuracy | ±5um |
| Maximum Speed | 100mm/sec |
| Minimum Speed | 0.001mm/sec |
| Z Axis (Chuck Up/Down) | |
| Movement Stroke | 6mm |
| Resolution | ±0.1um |
| Repeatability | ±2um |
| Maximum Speed | 2mm/sec |
| Minimum Speed | 0.001mm/sec |
| Z Axis (Plate Up/Down) | |
| Movement Stroke | 20mm |
| Repeatability | ±2um |
| Maximum Speed | 2mm/sec |
| Theta Axis | |
| Movement Stroke | ± 5° |
| Resolution | 0.0001° |
| Maximum Speed | 5mm/sec |
| Minimum Speed | 0.001mm/sec |
Dimensions
